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凈化車間施工驗(yàn)收檢測(cè)方法和要求
為了保證凈化車間的日常運(yùn)行能夠滿足其設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，定期的檢測(cè)和維護(hù)是十分必要的，對(duì)凈化車間的檢測(cè)一般有：過(guò)濾器撿漏、靜壓差檢測(cè)、風(fēng)量風(fēng)速檢測(cè)和潔凈度檢測(cè)。
1、 過(guò)濾器檢漏：
目的：為了確定無(wú)塵室內(nèi)安裝過(guò)濾器的氣流速度。
儀器：風(fēng)速儀
檢測(cè)方法： 參考標(biāo)準(zhǔn)（文件） : ISO 14644-3 (2005) , B. 4. 2
1>. 每塊過(guò)濾器或風(fēng)機(jī)單元組合分成 2~4 個(gè)測(cè)試區(qū)域?！? 英尺 X 4 英尺” 的過(guò)濾器分成 2 個(gè)測(cè)試區(qū)域； “4 英尺 X 4 英尺” 的過(guò)濾器分成 4 個(gè)測(cè)試區(qū)域。
2>. 檢測(cè)儀器安裝 VelGrid 測(cè)試架。
3>. 測(cè)試架放置到待測(cè)試區(qū)域的中間，其支撐腳輕輕接觸過(guò)濾器出風(fēng)面， 保持測(cè)試架邊緣與過(guò)濾器邊緣平行， 測(cè)試點(diǎn)到過(guò)濾器出風(fēng)面的距離大約為 15~30 厘米。
4>. 每一測(cè)試區(qū)域取一個(gè)穩(wěn)定讀數(shù)并記錄。
判定標(biāo)準(zhǔn)：
過(guò)濾器國(guó)標(biāo)統(tǒng)一驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，0.36~0. 54m/s(米/秒），若過(guò)低則影響整個(gè)無(wú)塵室送風(fēng)量， 偏高一點(diǎn)無(wú)太影響，但決不能偏低。 否則失去意義， 且塵粒測(cè)試很難通過(guò)。
一般對(duì)于高效過(guò)濾器，用掃描法對(duì)過(guò)濾器邊框和全斷面進(jìn)行檢漏。掃描法分為檢漏儀法和粒子計(jì)數(shù)器法兩種。
對(duì)于超高效過(guò)濾器，其撿漏方法有凝結(jié)核計(jì)數(shù)器法和激光粒子計(jì)數(shù)器法兩種。使用檢漏儀撿漏時(shí)要注意以下幾點(diǎn)：
a. 被檢漏過(guò)濾器必須已測(cè)過(guò)風(fēng)量，在設(shè)計(jì)風(fēng)速的 80-120%之間運(yùn)行。
b. 在同一送風(fēng)面上安有多臺(tái)過(guò)濾器時(shí)，在結(jié)構(gòu)上允許的情況下，宜用每次只暴露
1 臺(tái)過(guò)濾器的方法進(jìn)行測(cè)定。
c. 當(dāng)幾臺(tái)或全部過(guò)濾器必須同時(shí)暴露在氣溶膠中時(shí)，為了對(duì)所有過(guò)濾器造成均勻混合，宜在風(fēng)機(jī)吸孜端或這些過(guò)濾器前方支干管中引入檢漏用氣溶膠，立即在受檢過(guò)濾器的正前方測(cè)定上風(fēng)側(cè)濃度。
d. 對(duì)于高效過(guò)濾器，當(dāng)檢漏儀表為對(duì)數(shù)刻度時(shí)，上風(fēng)側(cè)氣溶膠濃度應(yīng)超過(guò)儀表最小刻度的104 倍。（歡迎大家使用中建南方標(biāo)準(zhǔn)化空氣過(guò)濾器，安裝，維護(hù)簡(jiǎn)單）
2、 風(fēng)量風(fēng)速檢測(cè)：
1>. 風(fēng)量風(fēng)速檢測(cè)必須首先進(jìn)行， 凈化空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得。
2>. 風(fēng)量檢測(cè)前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常， 系統(tǒng)中各部件安裝是否正確， 有無(wú)障礙(如過(guò)濾器有無(wú)被堵、 擋) ， 所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上， 并且必須
實(shí)際測(cè)量被測(cè)風(fēng)口，風(fēng)管尺寸。
目的： 驗(yàn)證無(wú)塵室系統(tǒng)在無(wú)塵室內(nèi)維持規(guī)定的空氣壓差的能力。
儀器： 靜壓表 （或萬(wàn)用風(fēng)速儀壓差檔）
檢測(cè)方法: 參考標(biāo)準(zhǔn)（文件） : ISO 14644-3 (2005) , B. 5
a. 在進(jìn)行壓差測(cè)試前， 確定無(wú)塵室送風(fēng)量和設(shè)施平衡已經(jīng)在規(guī)定范圍內(nèi)。
b. 在整個(gè)測(cè)試期間所有進(jìn)入無(wú)塵室及參考區(qū)域的門都關(guān)閉良好。
c. 如果無(wú)塵室內(nèi)被分割成不止一個(gè)封閉潔凈區(qū), 則需測(cè)量最里面房間與最緊臨房間之間的壓差。這種測(cè)量一直持續(xù)至測(cè)量出最后個(gè)封閉區(qū)與周圍附屬環(huán)境之間與室外環(huán)境之間的壓差。
d. 測(cè)量并記錄無(wú)塵室和臨近房間的壓差。
判定標(biāo)準(zhǔn)：
不同級(jí)別的無(wú)塵室之間，高級(jí)別的壓差通常至少要比低級(jí)別大 5Pa 以上方可;從無(wú)塵室直接向外的壓差必須是凈化車間內(nèi)大于外部環(huán)境 10Pa 以上方可。
3、 靜壓差檢測(cè)：
目的： 確認(rèn)過(guò)濾器系統(tǒng)安裝良好或在使用過(guò)程中沒有發(fā)生泄漏。
儀器： 塵粒計(jì)數(shù)器 （配檢漏探測(cè)頭）
檢漏掃描方法: 參考標(biāo)準(zhǔn)（文件） : ISO 14644-3 (2005) , B. 6. 3;
1>. 測(cè)試前確認(rèn)過(guò)濾器已經(jīng)通過(guò)風(fēng)速檢測(cè)。
2>. 測(cè)試過(guò)濾器上游 0. 3um 及更大粒徑的塵粒濃度。
3>. 檢測(cè)取樣頭來(lái)回掃描移動(dòng)速度大約為 1. 5cm/s。
4>. 檢測(cè)取樣頭到過(guò)濾器出風(fēng)面或過(guò)濾器框架的距離大約為 3 厘米。
5>. 掃描應(yīng)覆蓋每塊過(guò)濾器下風(fēng)向整個(gè)表面， 每個(gè)過(guò)濾器的周邊、 過(guò)濾器框與安裝架構(gòu)造之間的封條, 包括其結(jié)合部。
判定標(biāo)準(zhǔn)：
在掃描時(shí), 如果顯示出有等于或大于限值的泄漏, 表現(xiàn)出規(guī)定的泄漏特征, 則應(yīng)把取樣頭停在泄漏處復(fù)測(cè)。 如顯示出仍等于或大于限值的泄漏, 可判定過(guò)濾器該處有泄露。 如果沒有觀測(cè)到任何超過(guò)限值的泄露， 則判該過(guò)濾器無(wú)泄露。
1、 檢測(cè)靜壓差時(shí)要關(guān)閉所有的門進(jìn)行， 并從內(nèi)之外逐個(gè)房間進(jìn)行。
2、 對(duì)于潔凈度高于100級(jí)潔凈車間， 還應(yīng)測(cè)定在門開啟狀態(tài)下，離門口 0. 6m 處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。
4、 潔凈度檢測(cè)：
測(cè)定潔凈度的最低限度采樣點(diǎn)數(shù)按規(guī)定確定， 每點(diǎn)采樣次數(shù)不少于 3 次， 各點(diǎn)采樣次數(shù)可以不同。
目的： 確定無(wú)塵室內(nèi)由基本無(wú)塵室機(jī)械和電子系統(tǒng)產(chǎn)生的噪聲水平。
儀器： 聲級(jí)計(jì)檢測(cè)要求及方法 ： 參考標(biāo)準(zhǔn)（文件） --GBJ 122-88
1>. 測(cè)試之前完成空調(diào)系統(tǒng)平衡調(diào)節(jié)。
2>. 測(cè)試前確定所有風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元和空調(diào)系統(tǒng)設(shè)備在正常進(jìn)行。
3>. 將無(wú)塵室分成不大于 40 平方米的測(cè)試單元。
4>. 測(cè)試儀放置在離地板 1. 2 米高度， 且感應(yīng)器垂直向上。
5>. 在每一個(gè)測(cè)試點(diǎn)測(cè)量并記錄讀數(shù)。
5、 照度檢測(cè) ( Illuminance )
目的： 確定潔凈室內(nèi)工作高度的照明強(qiáng)度。
儀器： 照度計(jì)
檢測(cè)方法: 參考標(biāo)準(zhǔn)（文件） --GB/T 5700 (2008)
1>. 測(cè)試之前所有熒光燈已累計(jì)點(diǎn)亮 100 小時(shí)。
2>. 測(cè)試前所有熒光燈已連續(xù)點(diǎn)亮 40 分鐘以使溫度穩(wěn)定。
3>. 將無(wú)塵室分成 “3 米 X 3 米” 的測(cè)試單元。 .
4>. 測(cè)試儀感應(yīng)器朝上放置在每一個(gè)測(cè)試單元中間， 在 0. 8 米的高度。 測(cè)點(diǎn)距離墻壁 1. 0 米
判定標(biāo)準(zhǔn)：
根據(jù)國(guó)標(biāo)要求常規(guī)室內(nèi)工作環(huán)境照明度需在 800~1200 Lux （ 勒克斯）。
6、 防靜電地板檢測(cè) (Floor static-dissipative property)
目的： 驗(yàn)證無(wú)塵室防靜電地板的靜電消散性能滿足規(guī)范控制要求的能力。
儀器： 兆歐表
檢測(cè)方法: 參考標(biāo)準(zhǔn)（文件） --ISO 14644-3 (2005) , B. 10. 2. 1. 2.
1>. 測(cè)試之前清潔電極和地板表面。
2>. 對(duì)每一塊待測(cè)地板， 將接儀器正極的 5 磅電極放在測(cè)試點(diǎn)， 接儀器負(fù)極的導(dǎo)線接工廠公共接地端。 按“測(cè)試” 鍵測(cè)量地板接地電阻并記錄測(cè)量結(jié)果。
3>. 測(cè)量并記錄環(huán)境溫度、 濕度。
判定標(biāo)準(zhǔn)：
一般新裝的防靜電地板初次測(cè)試規(guī)格要求 2. 5X104~2. 5X106 歐姆；對(duì)于防靜電要求不高的一般至少要≦1. 0X109 歐姆的最低標(biāo)準(zhǔn)， 否則不能作為防靜電地板使用。
7、 溫、 濕度檢測(cè) (Temperature & Humidity)
目的： 驗(yàn)證無(wú)塵室空調(diào)系統(tǒng)在無(wú)塵室內(nèi)維持其空氣溫度、 濕度在規(guī)定范圍內(nèi)的
能力。
儀器： 溫濕度計(jì)（ 或 萬(wàn)用風(fēng)速儀溫濕度檔）檢測(cè)方法: 參考標(biāo)準(zhǔn)（文件） -- ISO 14644-3 (2005) , B. 8 &B. 9
1>. 該測(cè)試應(yīng)在空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)及穩(wěn)定至少 1 小時(shí)后進(jìn)行。
2>. 將無(wú)塵室分成不同的測(cè)試單元。 測(cè)試單元的大小應(yīng)按客戶和供應(yīng)商間的協(xié)商同意選定測(cè)試點(diǎn)應(yīng)不少于兩個(gè)。
3>. 測(cè)試感應(yīng)器應(yīng)置于工作高度， 且離天花、 墻壁和地板的距離不少于 300mm。
4>. 測(cè)試感應(yīng)器放置的位置選擇應(yīng)考慮熱源存在的影響。
5>. 測(cè)試時(shí)間應(yīng)至少為 5 分鐘， 至少每分鐘取一個(gè)讀數(shù)并記錄。
判定標(biāo)準(zhǔn)：
根據(jù)客戶提供的潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范范圍來(lái)判定。 比如中高端行業(yè)一般要求：溫度 23+2oC, 濕度 45%~65%。
8、 塵粒度檢測(cè) ( Airborne particle counts )
目的： 測(cè)量無(wú)塵室塵粒濃度， 并確定其與 ISO 14644-3 (2005) , B. 1 規(guī)范要求的符合性。
儀器： 塵粒計(jì)數(shù)器
檢測(cè)方法: 參考標(biāo)準(zhǔn)（文件） : ISO 14644-3 (2005) , B. 1
1>. 測(cè)試前確認(rèn)影響無(wú)塵室或無(wú)塵區(qū)域運(yùn)轉(zhuǎn)完整性的所有部分都已完成并
按設(shè)計(jì)性能規(guī)范運(yùn)轉(zhuǎn)。
2>. 將無(wú)塵室劃分成滿足以下要求的不同測(cè)試單元：最少測(cè)試點(diǎn)數(shù)量為： 以平方米為單位的無(wú)塵室面積的平方根（入到整數(shù)）。
3>. 取樣頭豎直向上放置。
4>. 設(shè)置粒子計(jì)數(shù)器的取樣速率為 1 立方英尺每分鐘， 取樣時(shí)間為 1 分鐘。
5>. 在每個(gè)測(cè)試單元中間至少取一個(gè)樣并記錄相應(yīng)讀數(shù)， 取樣頭離地板的高度為約 0. 8 米。 與客戶協(xié)商同意， 記錄 0. 5um 和更大尺寸粒子濃度的讀數(shù)。
9、 判定標(biāo)準(zhǔn)：
進(jìn)行此項(xiàng)測(cè)試時(shí), 無(wú)塵室內(nèi)應(yīng)保持空態(tài)或靜態(tài), 即在完成其它相關(guān)測(cè)試和施工之后.不同級(jí)別環(huán)境對(duì)塵粒度控制規(guī)格不同: 指每立方英尺測(cè)試體積里,注： 空態(tài)測(cè)試結(jié)果=實(shí)測(cè)值 X10%
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