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電子半導(dǎo)體凈化車間工程--昆山清陽凈化工程
社會信息化和互聯(lián)網(wǎng)正在對人類經(jīng)濟(jì)和社會生活產(chǎn)生革命性影響， 而半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)則是互聯(lián)網(wǎng)和信息化的基礎(chǔ)和核心。 進(jìn)入21世紀(jì)，信息產(chǎn)業(yè)已成為世界經(jīng)濟(jì)中規(guī)模最大、發(fā)展最為迅猛的產(chǎn)業(yè)。2001年初在瑞士達(dá)沃斯召開的“世界經(jīng)濟(jì)論壇年會”上，許多經(jīng)濟(jì)學(xué)家認(rèn)為，人類正在進(jìn)入以信息網(wǎng)絡(luò)為核心的“新經(jīng)濟(jì)”時(shí)代。 所謂“新經(jīng)濟(jì)” 的概念， 源于“網(wǎng)絡(luò)經(jīng)濟(jì)”的出現(xiàn)，而“網(wǎng)絡(luò)”是以計(jì)算機(jī)和通訊為依托的，其生存和發(fā)展的每一步都離不開半導(dǎo)體芯片技術(shù)的支持與更新。誰擁有了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，誰就擁有了世界的未來。 因此，發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對我國來說具有重要的戰(zhàn)略意義。 但是， 我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步較晚， 不但技術(shù)水平落后， 在管理上也存在很大的空白。 在尋求技術(shù)革新的同時(shí)， 有效提高生產(chǎn)制造過程的管理水平，探索技術(shù)與管理相結(jié)合的發(fā)展道路， 將是積極推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的有效途徑。
半導(dǎo)體潔凈廠房是公認(rèn)生產(chǎn)管理最為復(fù)雜的工廠之一，因?yàn)槠渖a(chǎn)過程有許多異于傳統(tǒng)的工藝特性，例如工件再回流的現(xiàn)象、成批加工、作業(yè)等候時(shí)限、高良率要求、機(jī)臺高當(dāng)機(jī)率等，以致于一般都將交期不準(zhǔn)、 在制品過高、周期時(shí)間過長等問題歸咎于其生產(chǎn)管理的復(fù)雜度高及系統(tǒng)的不穩(wěn)定。同時(shí)，晶圓制造屬于資本密集型產(chǎn)業(yè)，其設(shè)備投資龐大， 運(yùn)作成本高昂，使得投資者極為重視投資效益，不愿任何一臺設(shè)備閑置而浪費(fèi)產(chǎn)能，于是不斷追求所有設(shè)備的完全利用，其績效指標(biāo)的追求除了交期、 WIP及周期時(shí)間外，還要求機(jī)臺的使用率。這些顯然已經(jīng)不是技術(shù)層面上可以解決的問題，而是生產(chǎn)制造過程管理的問題 。
生產(chǎn)制造過程的管理按其內(nèi)容可分為生產(chǎn)系統(tǒng)的性能評價(jià)、生產(chǎn)計(jì)劃和車間層控制。這幾個(gè)問題是相互關(guān)聯(lián)的，性能評價(jià)是評估現(xiàn)有系統(tǒng)（配置固定）的性能，而不是優(yōu)化系統(tǒng)性能的某些指標(biāo)，它常評價(jià)不同設(shè)備配置及瓶頸設(shè)備附加能力對生產(chǎn)線的影響，是生產(chǎn)計(jì)劃、車間層控制的重要輸入，也是優(yōu)化系統(tǒng)配置的主要指導(dǎo)。 生產(chǎn)計(jì)劃一般指高層長期生產(chǎn)能力的安排和分配。車間層控制是生產(chǎn)計(jì)劃的細(xì)化和實(shí)現(xiàn)，它將基于能力的較長期計(jì)劃轉(zhuǎn)化為實(shí)際工件的實(shí)時(shí)加工序列。一般來說， 車間層控制有兩類決策任務(wù)： 一類是決定何時(shí)投入多少工件進(jìn)入生產(chǎn)線，稱為投料策略，它涉及生產(chǎn)速率、生產(chǎn)能力現(xiàn)狀、實(shí)際定單情況、WIP情況等問題，常和實(shí)時(shí)調(diào)度處理統(tǒng)籌考慮。 另一類是安排生產(chǎn)線中各類工件在各類設(shè)備上的實(shí)際加工序列和開始時(shí)間，稱為實(shí)時(shí)調(diào)度策略， 它涉及實(shí)時(shí)設(shè)備狀況、實(shí)時(shí)WIP情況以及產(chǎn)品的工序流程。本文對半導(dǎo)體晶圓制造車間層控制的內(nèi)容和方法作一介紹。
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